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用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材

Preparing superdense ZAO target by doping Al2O3 nanopowder

    摘要
  • 摘要: 将ZAO原料粉体中的Al2O3粒子的粒径降低到纳米级别后,通过无压烧结即可获得超高致密度的ZAO陶瓷靶材(相对密度高于99.0%).致密度大大提高的原因在于,Al2O3粒子粒径降到纳米级后,比表面积和粒子数目都大大增加,从而实现坯体同步均匀的烧结,避免了大气孔的产生.

     

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