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碳纤维表面沉积碳化钨膜研究

Study of deposition of tungsten carbide film onto carbon fiber

    摘要
  • 摘要: 通过W(CO)6化学气相沉积(MOCVD)工艺,在碳纤维表面沉积得到了碳化钨膜材料,研究了碳纤维表面沉积碳化钨膜的工艺条件.结果表明:在400℃沉积温度下沉积时间15min,一定浓度的W(CO)6可解离沉积在碳纤维表面形成致密碳化钨膜;膜层厚度0.4μm,物相为WC1-x相,与碳纤维基体结合强度高.DTA分析表明,复合碳纤维的抗热氧化性能得到了明显提高.

     

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