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氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状

The research of YSZ ceramic coating's preparation techniques on the surface of etching machine process chamber

    摘要
  • 摘要: 随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锫(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础.

     

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