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W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术

王庆相, 范志康

王庆相, 范志康. W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术[J]. 粉末冶金技术, 2009, 27(1): 52-57.
引用本文: 王庆相, 范志康. W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术[J]. 粉末冶金技术, 2009, 27(1): 52-57.
shu
Wang Qingxiang, Fan Zhikang. Application and manufacturing technology of tungsten and tungsten-titanium targets[J]. Powder Metallurgy Technology, 2009, 27(1): 52-57.
Citation: Wang Qingxiang, Fan Zhikang. Application and manufacturing technology of tungsten and tungsten-titanium targets[J]. Powder Metallurgy Technology, 2009, 27(1): 52-57.
shu

W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术

  • 西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048

  • 西安理工大学

基金项目: 国家自然科学基金(50474012)%高等学校博士学科点专项科研基金(20050700002)
详细信息

  • 中图分类号: TF1

Application and manufacturing technology of tungsten and tungsten-titanium targets

摘要

    摘要
  • 摘要: 近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.
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