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CuAlO2陶瓷靶材的制备及其性能研究

兰军, 刘翔, 张辉, 段云彪, 储清梅, 曹明刚, 张少春

兰军, 刘翔, 张辉, 段云彪, 储清梅, 曹明刚, 张少春. CuAlO2陶瓷靶材的制备及其性能研究[J]. 粉末冶金技术, 2011, 29(3): 169-172.
引用本文: 兰军, 刘翔, 张辉, 段云彪, 储清梅, 曹明刚, 张少春. CuAlO2陶瓷靶材的制备及其性能研究[J]. 粉末冶金技术, 2011, 29(3): 169-172.
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Lan Jun, Liu Xiang, Zhang Hui, Duan Yunbiao, Chu Qingmei, Cao Minggang, Zhang Shaochun. Preparation and performance of CuAlO2 ceramic target[J]. Powder Metallurgy Technology, 2011, 29(3): 169-172.
Citation: Lan Jun, Liu Xiang, Zhang Hui, Duan Yunbiao, Chu Qingmei, Cao Minggang, Zhang Shaochun. Preparation and performance of CuAlO2 ceramic target[J]. Powder Metallurgy Technology, 2011, 29(3): 169-172.
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CuAlO2陶瓷靶材的制备及其性能研究

  • 昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明,650051

  • 昆明理工大学

基金项目: 云南省自然科学基金资助项目(2009ZC013M)%昆明理工大学校重点基金资助项目(KKZ1200927003)
详细信息

  • 中图分类号: TQ174

Preparation and performance of CuAlO2 ceramic target

摘要

    摘要
  • 摘要: 以分析纯微米级Al2O3和Cu2O粉体为原料,采用固相烧结法制备铜铁矿型透明导电氧化物CuAlO2陶瓷靶材,通过XRD、R-T和SEM等测试方法对其进行结构和性能表征,研究烧结反应温度及时间对靶材结构、密度、电导率的影响.结果表明:最佳烧结制备CuAlO2陶瓷靶材的试验条件为烧结温度1150℃、烧结时间10h.试验获得了物相较纯、密度(4.83g/cm3)达到理论密度95％的CuAlO2陶瓷靶材,该靶材室温电导率为1.3×10-2S·cm-1,由电导率温度曲线计算出该靶材热激活能为0.265eV.
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