CuAlO2陶瓷靶材的制备及其性能研究
Preparation and performance of CuAlO2 ceramic target
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摘要: 以分析纯微米级Al2O3和Cu2O粉体为原料,采用固相烧结法制备铜铁矿型透明导电氧化物CuAlO2陶瓷靶材,通过XRD、R-T和SEM等测试方法对其进行结构和性能表征,研究烧结反应温度及时间对靶材结构、密度、电导率的影响.结果表明:最佳烧结制备CuAlO2陶瓷靶材的试验条件为烧结温度1150℃、烧结时间10h.试验获得了物相较纯、密度(4.83g/cm3)达到理论密度95％的CuAlO2陶瓷靶材,该靶材室温电导率为1.3×10-2S·cm-1,由电导率温度曲线计算出该靶材热激活能为0.265eV.
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