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钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响

刘仁智, 王快社, 孙院军

刘仁智, 王快社, 孙院军. 钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响[J]. 粉末冶金技术, 2014, 32(5): 328-334,351.
引用本文: 刘仁智, 王快社, 孙院军. 钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响[J]. 粉末冶金技术, 2014, 32(5): 328-334,351.
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Liu Renzhi, Wang Kuaishe, Sun Yuanjun. Effect of deformation and heat treatment of molybdenum target on the microstructure and properties of film[J]. Powder Metallurgy Technology, 2014, 32(5): 328-334,351.
Citation: Liu Renzhi, Wang Kuaishe, Sun Yuanjun. Effect of deformation and heat treatment of molybdenum target on the microstructure and properties of film[J]. Powder Metallurgy Technology, 2014, 32(5): 328-334,351.
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钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响

  • 西安建筑科技大学,陕西西安710055;金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西西安710075

  • 西安建筑科技大学,陕西西安,710055

  • 金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西西安,710075

  • 西安建筑科技大学

  • 金堆城钼业集团有限公司

基金项目: 国家科技支撑计划课题(2012BAE06B02)

Effect of deformation and heat treatment of molybdenum target on the microstructure and properties of film

摘要

    摘要
  • 摘要: 通过研究靶材变形量及热处理工艺对溅射薄膜的微观组织、表面粗糙度及晶形的影响,结果表明:变形量为80％的钼靶材溅射制备的薄膜晶化程度优于变形量小的靶材溅射薄膜;溅射相同的薄膜厚度,随着靶材变形量的增大,溅射薄膜的方阻越大;1100℃退火靶材溅射薄膜的粗糙度最小,表面颗粒最细小均匀,晶粒取向明显.
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