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钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响

刘仁智,  王快社,  孙院军

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刘仁智, 王快社, 孙院军. 钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响[J]. 粉末冶金技术, 2014, 32(5): 328-334,351.
引用本文: 刘仁智, 王快社, 孙院军. 钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响[J]. 粉末冶金技术, 2014, 32(5): 328-334,351.
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Liu Renzhi, Wang Kuaishe, Sun Yuanjun. Effect of deformation and heat treatment of molybdenum target on the microstructure and properties of film[J]. Powder Metallurgy Technology, 2014, 32(5): 328-334,351.
Citation: Liu Renzhi, Wang Kuaishe, Sun Yuanjun. Effect of deformation and heat treatment of molybdenum target on the microstructure and properties of film[J]. Powder Metallurgy Technology, 2014, 32(5): 328-334,351.
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钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响

  • 西安建筑科技大学,陕西西安710055;金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西西安710075

  • 西安建筑科技大学,陕西西安,710055

  • 金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西西安,710075

  • 西安建筑科技大学

  • 金堆城钼业集团有限公司

基金项目: 国家科技支撑计划课题(2012BAE06B02)

Effect of deformation and heat treatment of molybdenum target on the microstructure and properties of film

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