浦恩祥, 周文祥, 陈泽基, 张智睿, 黄佑文, 徐世春, 贾宝瑞, 秦明礼. 氧含量对氮化铝陶瓷抗弯强度及热导率的影响[J]. 粉末冶金技术.
引用本文: 浦恩祥, 周文祥, 陈泽基, 张智睿, 黄佑文, 徐世春, 贾宝瑞, 秦明礼. 氧含量对氮化铝陶瓷抗弯强度及热导率的影响[J]. 粉末冶金技术.
Effect of Oxygen Content on Bending Strength and Thermal Conductivity of Aluminum Nitride Ceramics[J]. Powder Metallurgy Technology.
Citation: Effect of Oxygen Content on Bending Strength and Thermal Conductivity of Aluminum Nitride Ceramics[J]. Powder Metallurgy Technology.

氧含量对氮化铝陶瓷抗弯强度及热导率的影响

详细信息
  • 中图分类号: TG142.71

Effect of Oxygen Content on Bending Strength and Thermal Conductivity of Aluminum Nitride Ceramics

  • 摘要: 氮化铝(AlN)陶瓷具有热导率高、热膨胀系数低、强度高、耐化学腐蚀等性能,是大规模集成电路理想的散热和封装材料,在半导体、大功率电子和LED照明技术等领域中有重要应用。本文以自制的不同氧含量的AlN粉末为原料制备了氮化铝陶瓷样品,采用三点弯曲法和3ω法测试陶瓷77~350K范围内的抗弯强度和热导率,研究粉末氧含量对氮化铝陶瓷的抗弯强度和热导率的影响,并比较了Al2O3陶瓷、Si3N4陶瓷和AlN陶瓷在不同温度下的力学和导热性能。结果表明,低氧含量AlN陶瓷在室温和深低温下均具有高热导率和高抗弯强度,实现了力学性能和热导率的协同调控,有着广阔的应用前景。
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