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用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材

范锦鹏,  赵大庆,  吴敏生,  董民超

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范锦鹏, 赵大庆, 吴敏生, 董民超. 用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材[J]. 粉末冶金技术, 2005, 23(1): 44-47. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.01.009
引用本文: 范锦鹏, 赵大庆, 吴敏生, 董民超. 用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材[J]. 粉末冶金技术, 2005, 23(1): 44-47. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.01.009
shu
Fan Jinpeng, Zhao Daqing, Wu Minsheng, Dong Minchao. Preparing superdense ZAO target by doping Al2O3 nanopowder[J]. Powder Metallurgy Technology, 2005, 23(1): 44-47. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.01.009
Citation: Fan Jinpeng, Zhao Daqing, Wu Minsheng, Dong Minchao. Preparing superdense ZAO target by doping Al2O3 nanopowder[J]. Powder Metallurgy Technology, 2005, 23(1): 44-47. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.01.009
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用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材

doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.01.009

  • 清华大学机械工程系,北京,100084

  • 清华大学

Preparing superdense ZAO target by doping Al2O3 nanopowder

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