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AlN陶瓷的空心阴极等离子烧结工艺研究

王从曾,  苏学宽,  高帆,  段成军,  张连宝,  马捷

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王从曾, 苏学宽, 高帆, 段成军, 张连宝, 马捷. AlN陶瓷的空心阴极等离子烧结工艺研究[J]. 粉末冶金技术, 2005, 23(4): 279-283. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.04.008
引用本文: 王从曾, 苏学宽, 高帆, 段成军, 张连宝, 马捷. AlN陶瓷的空心阴极等离子烧结工艺研究[J]. 粉末冶金技术, 2005, 23(4): 279-283. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.04.008
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Wang Congzeng, Su Xuekuan, Gao Fan, Duan Chengjun, Zhang Lianbao, Ma Jie. Research on hollow cathode discharge plasma sintering techniques of aluminium nitride[J]. Powder Metallurgy Technology, 2005, 23(4): 279-283. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.04.008
Citation: Wang Congzeng, Su Xuekuan, Gao Fan, Duan Chengjun, Zhang Lianbao, Ma Jie. Research on hollow cathode discharge plasma sintering techniques of aluminium nitride[J]. Powder Metallurgy Technology, 2005, 23(4): 279-283. doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.04.008
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AlN陶瓷的空心阴极等离子烧结工艺研究

doi: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.04.008

  • 北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022

  • 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室,上海,200050

  • 北京工业大学

  • 中国科学院上海硅酸盐研究所

基金项目: 中国科学院资助项目(50374003)%北京市自然科学基金(2032003)
详细信息

  • 中图分类号: TF12

Research on hollow cathode discharge plasma sintering techniques of aluminium nitride

    摘要
  • 摘要: 将空心阴极效应运用于AIN陶瓷的烧结,选用自蔓延高温合成的AIN粉体为原料,用Y2O3-Li2O-CaO(YLC)作为烧结助剂,进行了烧结试验,并探讨了工艺参数的影响.结果表明,空心阴极烧结工艺可制备出致密度高,导热性能好的AIN陶瓷.添加质量分数为5.5%的YLC烧结助剂,在1 700 ℃、保温3h的烧结条件下,获得相对密度为98.9%、热导率为93.8W/(m·K)的AIN烧结体.烧结体断口的SEM照片显示,烧结试样的晶粒生长发育完善,晶粒轮廓清晰,呈尖锐的多面体形状,晶粒大小均匀,孔隙和晶界相少,断裂模式主要为穿晶解理断裂.TEM观测表明,晶界相少,且大部分都缩至三角晶界,AIN晶粒与晶粒接触紧密.
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