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Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究

李岩,  常玲玲,  李慧,  吴茂

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文章导航 > 粉末冶金技术  > 2013 >  31(4): 273-278,282
李岩, 常玲玲, 李慧, 吴茂. Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究[J]. 粉末冶金技术, 2013, 31(4): 273-278,282. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2013.04.007
引用本文: 李岩, 常玲玲, 李慧, 吴茂. Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究[J]. 粉末冶金技术, 2013, 31(4): 273-278,282. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2013.04.007
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Li Yan, Chang Lingling, Li Hui, Wu Mao. Effect of Ti/Au electrode on noise factor of infrared detector[J]. Powder Metallurgy Technology, 2013, 31(4): 273-278,282. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2013.04.007
Citation: Li Yan, Chang Lingling, Li Hui, Wu Mao. Effect of Ti/Au electrode on noise factor of infrared detector[J]. Powder Metallurgy Technology, 2013, 31(4): 273-278,282. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2013.04.007
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Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2013.04.007

  • 北京控制工程研究所第十二研究室,北京,100190

  • 北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083

  • 北京控制工程研究所

  • 北京科技大学

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(51204016)%高等学校博士学科点专项科研基金项目(20120006120011)%中央高校基本科研业务费专项资金项目(FRF-TP-12-154A)%国家博士后科学基金项目(11175020)

Effect of Ti/Au electrode on noise factor of infrared detector

    摘要
  • 摘要: Mn-Co-Ni-O系半导体陶瓷是最常见的红外热敏电阻材料,但其与传统的Au电极结合强度不高.本文将Ti/Au双层电极用于半导体陶瓷晶片,研究了Ti/Au电极对界面结合强度和热敏电阻噪声系数的影响规律.研究发现,Ti/Au电极能与半导体陶瓷保持良好的界面结合强度,同时使热敏电阻具有较低的噪声系数；Ti/Au电极影响热敏电阻噪声系数的机理是由于Ti扩散到Au表面形成钛氧化物引起的；在对Ti/Au电极的热处理过程中,Ti与陶瓷晶片基体间发生界面反应,同时Ti元素会向Au薄膜表面扩散；提高Ti/Au热处理温度或增加Au薄膜厚度、减少Ti镀膜厚度均能抑制Ti原子向Au薄膜表面扩散,从而降低热敏电阻的噪声系数.
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