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多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究

李烨,  汪强兵,  王建,  杨坤,  杨保军

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李烨, 汪强兵, 王建, 杨坤, 杨保军. 多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究[J]. 粉末冶金技术, 2015, 33(6): 411-416. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.003
引用本文: 李烨, 汪强兵, 王建, 杨坤, 杨保军. 多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究[J]. 粉末冶金技术, 2015, 33(6): 411-416. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.003
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Li Ye, Wang Qiangbing, Wang Jian, Yang Kun, Yang Baojun. A study of the regeneration mechanism of filter elements in polysiliconpurification system[J]. Powder Metallurgy Technology, 2015, 33(6): 411-416. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.003
Citation: Li Ye, Wang Qiangbing, Wang Jian, Yang Kun, Yang Baojun. A study of the regeneration mechanism of filter elements in polysiliconpurification system[J]. Powder Metallurgy Technology, 2015, 33(6): 411-416. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.003
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多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.003

  • 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室,陕西西安,710016

  • 西北有色金属研究院

A study of the regeneration mechanism of filter elements in polysiliconpurification system

    摘要
  • 摘要: 采用酸浸和高温气体还原的方法,对某多晶硅厂的堵塞过滤元件进行再生.结果发现:固体颗粒在不锈钢过滤管中的附着形态分为两类:一类为颗粒在孔道中粘结在一起形成大块颗粒,完全堵塞在不锈钢过滤管的孔道中;另一类为颗粒粘附在孔道壁上,减小了不锈钢过滤管孔径的大小.过滤元件经过酸浸和高温烧结的联合方法再后,过滤元件的透气系数恢复了88.5％,过滤精度为1.3 μm,压溃强度提高至131 MPa.性能达到使用要求,从而创造社会经济价值.
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