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氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状

纪箴,  王聪瑜,  夏洋,  贾成厂,  张有茶,  程诚,  黄小泓

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纪箴, 王聪瑜, 夏洋, 贾成厂, 张有茶, 程诚, 黄小泓. 氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状[J]. 粉末冶金技术, 2015, 33(6): 460-464. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.011
引用本文: 纪箴, 王聪瑜, 夏洋, 贾成厂, 张有茶, 程诚, 黄小泓. 氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状[J]. 粉末冶金技术, 2015, 33(6): 460-464. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.011
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Ji Zhen, Wng Congyu, Xie Yang, Jia Chengchang, Zhang Youcha, Cheng Cheng, Huang Xiaohong. The research of YSZ ceramic coating's preparation techniques on the surface of etching machine process chamber[J]. Powder Metallurgy Technology, 2015, 33(6): 460-464. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.011
Citation: Ji Zhen, Wng Congyu, Xie Yang, Jia Chengchang, Zhang Youcha, Cheng Cheng, Huang Xiaohong. The research of YSZ ceramic coating's preparation techniques on the surface of etching machine process chamber[J]. Powder Metallurgy Technology, 2015, 33(6): 460-464. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.011
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氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状

doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2015.06.011

  • 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

  • 中科院微电子所,北京,100029

  • 北京科技大学

  • 中国科学院微电子研究所

The research of YSZ ceramic coating's preparation techniques on the surface of etching machine process chamber

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