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多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究

杨坤,  汤慧萍,  王建,  李烨,  杨保军,  陈金妹,  石英

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杨坤, 汤慧萍, 王建, 李烨, 杨保军, 陈金妹, 石英. 多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究[J]. 粉末冶金技术, 2016, 34(2): 101-105. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2016.02.004
引用本文: 杨坤, 汤慧萍, 王建, 李烨, 杨保军, 陈金妹, 石英. 多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究[J]. 粉末冶金技术, 2016, 34(2): 101-105. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2016.02.004
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Yang Kun, Tang Huiping, Wang Jian, Li Ye, Yang Baojun, Chen Jinmei, Shi Ying. Preparation and property research on porous Fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry[J]. Powder Metallurgy Technology, 2016, 34(2): 101-105. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2016.02.004
Citation: Yang Kun, Tang Huiping, Wang Jian, Li Ye, Yang Baojun, Chen Jinmei, Shi Ying. Preparation and property research on porous Fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry[J]. Powder Metallurgy Technology, 2016, 34(2): 101-105. doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2016.02.004
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多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-3784.2016.02.004

  • 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室,西安,710016

  • 西北有色金属研究院

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863)计划(2012AA03A610)%国家重点基础研究发展规划(973计划)(2012CB723907)

Preparation and property research on porous Fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry

    摘要
  • 摘要: 为满足多晶硅行业生产中高温含尘气体过滤的需求,本文开展了Fe基高温气体净化膜材料成形和烧结工艺研究,获得了支撑体以及微滤膜层的最佳制备工艺.结果表明:本实验选用的Fe基粉末采用气氛烧结的最佳烧结温度为1 280℃,在该温度下所获样品的耐压强度为113.82 MPa,相对透气系数223.84 m3/m2·KPa·h,通过粉末湿法喷涂技术制备了金属微滤膜层,获得的Fe金属微滤膜元件对于1μm的气体粉尘过滤效率可达98％以上,完全满足了多晶硅等行业生产中高温含尘气体净化分离的需求.
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